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配资排名第一公司 ASM申请改进的区域选择性沉积专利, 相对于第二表面在第一表面上选择性地沉积钝化层
2025-06-27
金融界2025年6月21日消息,国家知识产权局信息显示,ASMIP私人控股有限公司申请一项名为“改进的区域选择性沉积”的专利,公开号CN120184089A配资排名第一公司,申请日期为2024年12月。 专利摘要显示,用于在衬底上选择性沉积的方法、系统和设备,包括在反应室中提供衬底,衬底包括第一表面和第二表面,其中第一表面与第二表面在材料上不同,其中第一表面是金属氧化物、金属氮化物、金属氮氧化物或金属碳化物或者其组合,其中第二表面是电介质或金属,并且使衬底与包含疏水性化合物的前体接触,以相对于
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